今後も継続して拡大する半導体需要に対応するため、東京エレクトロンは半導体製造装置の生産能力拡大を目的とし、製造子会社である東京エレクトロン テクノロジーソリューションズの山梨(藤井)および東北事業所内に新棟(生産棟)を建設することを決定いたしましたので、お知らせいたします。東京エレクトロン テクノロジーソリューションズが開発・製造している成膜装置などの製造装置市場は、技術革新が続き大きな成長が見込まれております。新棟の建設により、市場とお客さまの需要に迅速に対応することで、中長期における持続的成長を目指してまいります。

＜新棟の概要＞

1. 1. 山梨(藤井)事業所内

延床面積：32,455㎡

構造：鉄骨造/免震構造　

階数：地上4階

着工：2019年1月(予定)、竣工：2020年4月(予定)

建設費用：約130億円　

用途：枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステムの製造

1. 2. 東北事業所内　　　

延床面積　31,777㎡　

構造：鉄骨造/免震構造

階数：地上4階
着工：2018年10月、竣工：2019年9月(1期工事完了^＊)、2020年12月(2期工事完了)

^＊生産棟の一部　　　

建設費用：約130億円　

用途：熱処理成膜装置の製造

＜東京エレクトロン テクノロジーソリューションズ事業概要について＞

2017年7月に東京エレクトロン山梨、東京エレクトロン東北が合併し、東京エレクトロン テクノロジーソリューションズを設立。

従業員数：4,618名(協力会社含む)　^＊4月1日現在

本社所在地：山梨県韮崎市藤井町北下条2381-1

事業内容：熱処理成膜装置、枚葉成膜装置、ガスケミカルエッチング装置、テストシステム、FPDプラズマエッチング/アッシング装置の開発・製造

山梨事業所新棟　完成予想図

東北事業所新棟　完成予想図